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        產(chǎn)品中心

        Product Center

        當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品處理小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD桌面高溫蒸鍍儀

        桌面高溫蒸鍍儀

        產(chǎn)品簡介

        桌面高溫蒸鍍儀,通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱為熱蒸發(fā)鍍膜,熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史最悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一

        產(chǎn)品型號:KT-Z1650CVD
        更新時間:2024-03-27
        廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
        訪問量:1066
        詳細(xì)介紹在線留言
        品牌鄭科探產(chǎn)地類別國產(chǎn)
        應(yīng)用領(lǐng)域綜合

        桌面高溫蒸鍍儀

        分別用鎢坩堝和玻璃碳涂層坩堝蒸鍍金膜,采用EDS分析金膜表面黑色顆粒的主要成分.對比金膜表面黑色顆粒分布的密度;根據(jù)兩種坩堝蒸金膜時的物理學(xué)特征不同,研究黑色顆粒產(chǎn)生的機(jī)理,解釋碳玻璃涂層坩堝蒸金黑色顆粒較多的原因;并利用玻璃碳坩堝采取不同的工藝條件進(jìn)行對比試驗(yàn),成功減少了金膜表面的黑色顆粒,為教學(xué)實(shí)驗(yàn)、真空鍍膜工藝和集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域蒸鍍高質(zhì)量的金膜提供幫助.


        637858771737832260197.png   原樣品沒有鍍膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 機(jī)械泵

        637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分鐘    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分鐘


        真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色

        桌面高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD

        控制方式

        7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制

        加熱方式

        數(shù)字式功率調(diào)整器

        鍍膜功能

        0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

        最大功率

        1200W

        最大輸出電壓電流

        電壓≤12V  電流≤120A

        真空度

        機(jī)械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

        擋板類型

        電控

        真空腔室

        石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

        樣品臺

        可旋轉(zhuǎn)φ62  (最大可安裝φ50基底)

        樣品臺轉(zhuǎn)速

        8轉(zhuǎn)/分鐘

        樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離

        70-140mm

        蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

        1800

        支持蒸發(fā)坩堝類型

        鎢絲藍(lán)  帶坩堝鎢絲藍(lán)  鎢舟  碳繩  

        預(yù)留真空接口

        KF25抽氣口  KF16真空計接口  KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

        可選配擴(kuò)展

        機(jī)械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa  

        數(shù)顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa

        分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa






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