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        產(chǎn)品中心

        Product Center

        真空探針臺(tái)

        產(chǎn)品簡(jiǎn)介

        真空探針臺(tái)KT-Z160TZ,高溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測(cè)量環(huán)境,以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果誤差。

        產(chǎn)品型號(hào):KT-Z160TZ
        更新時(shí)間:2024-03-29
        廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
        訪問(wèn)量:1372
        詳細(xì)介紹在線留言
        品牌鄭科探

          真空探針臺(tái)KT-Z160TZ主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有:手動(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng)從功能上來(lái)區(qū)分有:溫控探針臺(tái),真空探  針臺(tái)(低溫探針臺(tái)),RF探針臺(tái),LCD平板探針臺(tái),霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái)。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成

          高低溫真空 探針臺(tái)應(yīng)用:

          可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析,如:半導(dǎo)體/微電子,電子,機(jī)電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機(jī)電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

          · 結(jié)構(gòu)緊湊,適用于各種變溫測(cè)試

          · -196℃~400℃(配液氮致冷模塊)

          · 氣密腔室設(shè)計(jì),可通保護(hù)氣氛

          · 4探針,手動(dòng)定位(可擴(kuò)展為6個(gè))

          · 支持改動(dòng)或定制

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        真空探針臺(tái)KT-Z160TZ參數(shù)

         

         

        真空腔體

         

        腔體材質(zhì)

         

        304不銹鋼

         

        上蓋開啟

         

        鉸鏈側(cè)開

         

        加熱臺(tái)材質(zhì)

         

        304不銹鋼

         

        內(nèi)腔體尺寸

         

        φ160x90mm

         

        觀察窗尺寸

         

        Φ70mm

         

        加熱臺(tái)尺寸

         

        φ60mm

         

        觀察窗熱臺(tái)間距

         

        75mm

         

        加熱臺(tái)溫度

         

        ﹣196~400℃

         

        加熱臺(tái)溫控誤差

         

        ±1℃

         

        真空度

         

        機(jī)械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

         

        允許正壓

         

        ≤0.1MPa

         

        真空抽氣口

         

        KF25真空法蘭

         

        氣體進(jìn)氣口

         

        3mm-6mm卡套接頭

         

        電信號(hào)接頭

         

        SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

         

        電學(xué)性能

         

        絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤500V

         

        探針數(shù)量

         

        4探針

         

        探針材質(zhì)

         

        鎢針  

         

        探針尖

         

        10μm

         

        探針移動(dòng)平臺(tái)

         

        X軸移動(dòng)行程

         

        30mm    ±15mm

         

        X軸控制精度

         

        ≤0.01mm

         

        Y軸移動(dòng)行程

         

        13mm    ±12.5mm

         

        Y軸控制精度

         

        ≤0.01mm

         

        Z軸移動(dòng)行程

         

        13mm    ±12.5mm

         

        Z軸控制精度

         

        ≤0.01mm

         

        電子顯微鏡

         

        顯微鏡類別

         

        物鏡

         

        物鏡倍數(shù)

         

        0.7-4.5倍

         

        工作間距

         

        90mm

         

        相機(jī)

         

        sony 高清

         

        像素

         

        1920※1080像素

         

        圖像接口

         

        VGA

         

        LED可調(diào)光源

         

         

        顯示屏

         

        8寸

         

        放大倍數(shù)

         

        19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

         

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