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        產(chǎn)品中心

        Product Center

        當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心實(shí)驗(yàn)室氣體配比器質(zhì)量流量計(jì)KT-C4ZSDS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

        DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

        產(chǎn)品簡(jiǎn)介

        DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器 DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)開(kāi)發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器,用于半導(dǎo)體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)和高精度壓電閥控制技術(shù)使產(chǎn)品具有零漂小,精度高,響應(yīng)速度快,壓力不敏感的特點(diǎn),產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,金屬表面狀況符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的要求。

        產(chǎn)品型號(hào):KT-C4ZS
        更新時(shí)間:2024-03-29
        廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
        訪問(wèn)量:1410
        詳細(xì)介紹在線留言
        品牌鄭科探價(jià)格區(qū)間面議
        產(chǎn)品種類(lèi)其他介質(zhì)分類(lèi)氣體
        產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子

        DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

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        DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)開(kāi)發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器,用于半導(dǎo)體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)和高精度壓電閥控制技術(shù)使產(chǎn)品具有零漂小,精度高,響應(yīng)速度快,壓力不敏感的特點(diǎn),產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,金屬表面狀況符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的要求。

        DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

        • 控制精度高,精度可達(dá)±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
        • 響應(yīng)速度快,響應(yīng)時(shí)間≤ 0.5sec。
        • 采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù),使產(chǎn)品具有壓力不敏感特性,能夠適用較大的氣源壓力波動(dòng)。
        • DS300采用有效的機(jī)械加工技術(shù)與表面處理技術(shù)解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題,實(shí)現(xiàn)孔徑相對(duì)較小(孔徑<1mm)、深徑比相對(duì)較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學(xué)拋光處理,*符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)要求。

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        技術(shù)參數(shù)

        DS300C

        類(lèi)型

        DS300C

        閥類(lèi)型

        常閉

        流量規(guī)格(N2)

        (0~30,50,100,200,300,500)  SCCM
        (0~1,2,3,5,10)            SLM

        準(zhǔn)確度

        ±1% S.P. (≥10% F.S.)       
        ±1% F.S. (<10% F.S.)       

        線性

        ±0.5% F.S.

        重復(fù)精度

        ±0.2% F.S.

        響應(yīng)時(shí)間

        ≤ 0.5sec            

        進(jìn)口壓力

        240~450KPa 流量規(guī)格≤5SLM
        350~450KPa  流量規(guī)格>5SLM

        出口壓力

        ≤1.2KPa    流量規(guī)格≤5SLM
        ≤13.3KPa  流量規(guī)格>5SLM

        溫度系數(shù)

        零點(diǎn):≤±0.02% F.S./℃;
        調(diào)節(jié)時(shí):≤±0.1% F.S./℃

        耐壓

        3 MPa

        漏率

        1×10-11 Pa·m3 / sec He

        密封材料

        金屬密封

        最大工作壓力

        0.45MPa

        工作環(huán)境溫度

        (10~45)℃

        輸入信號(hào)

        數(shù)字:RS485 或 DeviceNet
        模擬:(0~5)VDC

        輸出信號(hào)

        數(shù)字:RS485 或 DeviceNet  
        模擬:(0~5)VDC

        零漂

        在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)<0.6%F.S./年

        電源

        ±8~±16 VDC (雙極) 或 +14~+28 VDC (單極)

        表面化學(xué)成分

        Cr/Fe比例≥2.0;
        CrO 厚度≥20 (埃)

        表面粗糙度

        Ra  5μinch

        標(biāo)準(zhǔn)接頭形式

        VCR1/4陽(yáng)接頭;
        1.125″C型密封接頭;
        1.125″W型密封接頭;
        Compression Fittingφ6

        電源接頭形式

        D型9針陽(yáng)接頭;
        D型15針陽(yáng)接頭;
        DeviceNet接頭

        重量

        1.2Kg

         


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