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        產(chǎn)品中心

        Product Center

        當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品處理小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD鄭科探小型蒸鍍儀

        鄭科探小型蒸鍍儀

        產(chǎn)品簡介

        鄭科探小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD是我公司專為科研院所及實驗室用戶群體設(shè)計開發(fā)的一款小型高真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)。機(jī)架電控一體化設(shè)計,整體布局緊湊合理,充分考慮人機(jī)工程學(xué)的傾斜操控面板和可直觀觀察蒸發(fā)狀態(tài)的玻璃真空室結(jié)構(gòu)相得益彰。蒸發(fā)源可兼容金屬、有機(jī)物蒸發(fā)。廣泛應(yīng)用于高校、科研院所制備功能薄膜、蒸鍍電極、掃描電鏡制樣等,特別適合太陽能電池、有機(jī)EL、LED顯示管研究與開發(fā)領(lǐng)域。

        產(chǎn)品型號:KT-Z1650CVD
        更新時間:2024-03-27
        廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
        訪問量:1338
        詳細(xì)介紹在線留言
        品牌鄭科探產(chǎn)地類別國產(chǎn)
        應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子

        鄭科探小型蒸鍍儀

        -熱蒸發(fā)源:電阻式熱蒸發(fā)舟,交流電源;
        -
        腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇;
        -
        泵:前級干泵,分子泵;
        - Load Lock
        樣品傳輸腔室:手動或自動傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配)
        -
        工藝控制:PC/PLC機(jī)制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲存;

        -
        襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;

        -       襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉(zhuǎn)等;

        -       保護(hù)樣品:配有樣品擋板,可手動或自動開/關(guān)擋板,達(dá)到及時遮擋樣品效果;

        以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖:

               image.png  

        以下是不同真空度 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖

        637858771737832260197.png   原樣品沒有鍍膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 機(jī)械泵

        637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分鐘    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分鐘

        真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色



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        鄭科探小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD技術(shù)資料

        控制方式

        7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制

        加熱方式

        數(shù)字式功率調(diào)整器

        鍍膜功能

        0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

        最大功率

        1200W

        最大輸出電壓電流

        電壓≤12V  電流≤120A

        真空度

        機(jī)械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

        擋板類型

        電控

        真空腔室

        石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

        樣品臺

        可旋轉(zhuǎn)φ62  (最大可安裝φ50基底)

        樣品臺轉(zhuǎn)速

        8轉(zhuǎn)/分鐘

        樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離

        70-140mm

        蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

        1800

        支持蒸發(fā)坩堝類型

        鎢絲藍(lán)  帶坩堝鎢絲藍(lán)  鎢舟  碳繩  

        預(yù)留真空接口

        KF25抽氣口  KF16真空計接口  KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

        可選配擴(kuò)展

        機(jī)械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa  

        數(shù)顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa

        分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa


        技術(shù)支持&服務(wù):

        1. 技術(shù)支持:在合同簽訂之前,我們的專業(yè)工程師會在充分了解客戶需求的前提下,為客戶做出*的選型和方案設(shè)計,使客戶充分了解并理解產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)、性能用途、使用場合、安全注意事項等,以幫助客戶做出正確的選擇。

        2. 安裝與培訓(xùn):在產(chǎn)品使用前,我們會派專業(yè)工程師為您提供現(xiàn)場技術(shù)支持、培訓(xùn)及演示服務(wù)。

        3. 產(chǎn)品質(zhì)保:我們對產(chǎn)品提供12個月的質(zhì)保期,在質(zhì)保期內(nèi)發(fā)生設(shè)備或配件損壞由公司負(fù)責(zé)賠償或免費維修。(耗材和易損件除外)

        4. 終身維護(hù):我們對提供的產(chǎn)品提供終身服務(wù),對于超過質(zhì)保期限的維修、維護(hù)僅收取材料費,免除一切人工費用。



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