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        產(chǎn)品中心

        Product Center

        離子濺射儀

        產(chǎn)品簡(jiǎn)介

        KT-Z1650CVD是一款小型臺(tái)式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀離子濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率,可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。

        產(chǎn)品型號(hào):
        更新時(shí)間:2024-03-27
        廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
        訪問(wèn)量:1801
        詳細(xì)介紹在線留言
        品牌鄭科探價(jià)格區(qū)間面議
        產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域電子

          KT-Z1650CVD是一款小型臺(tái)式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀離子濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率,可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。離子濺射儀

        參數(shù)

        設(shè)備名稱

        小型濺射儀

        小型蒸鍍儀

        控制方式

        7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

        7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

        工作電源

        直流濺射電源

        直流熱蒸發(fā)電源

        鍍膜功能

        0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

        0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

        功率

        1000W

        1500W

        輸出電壓電流

        電壓≤1000V  電流≤1A

        電壓≤12V  電流≤100A

        真空

        機(jī)械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

        腔體真空

        30Pa

        擋板類型

        電控

        真空腔室

        石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

        石英腔體φ160mm x 160mm

        樣品臺(tái)

        可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

        樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

        8轉(zhuǎn)/分鐘

        樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

        40-105mm

        70-140mm

        蒸發(fā)坩堝容積


        3ML

        蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)


        1600

        真空測(cè)量

        皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa  1E-1Pa

        預(yù)留真空接口

        KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口

        可選配擴(kuò)展

        1 膜厚在線測(cè)試    2 分子泵



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