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        讀懂流量計(jì)關(guān)鍵參數(shù)

        更新時(shí)間:2022-04-21點(diǎn)擊次數(shù):3750

        問(wèn):1.質(zhì)量流量控制器,為什么以SCCM和SLM為單位?

        答:從測(cè)量原理講,熱式質(zhì)量流量計(jì)是通過(guò)利用氣體的比熱與密度,采用毛細(xì)管溫差量熱法進(jìn)行測(cè)量,流量控制器測(cè)量的就是質(zhì)量流量,但顯示出的數(shù)值是通用的標(biāo)況(101325 Pa; 0℃)體積流量。由于一般氣體的密度都指標(biāo)況下的密度,因此直接用體積乘以密度就可以得到所通過(guò)氣體的質(zhì)量。SCCM 與 SLM 為體積流量的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)單位,代表標(biāo)況下的體積流量。SLM(Standard Liter per Minute)是表示每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升。SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)是表示每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升。

        問(wèn):2.流量控制器對(duì)使用條件和環(huán)境有什么要求?

        答:通常情況是環(huán)境溫度,流量規(guī)格,壓力根據(jù)產(chǎn)品的型號(hào)不同也有差異。

        問(wèn):3.內(nèi)漏與外漏區(qū)別是什么?

        答:內(nèi)漏是指氣體整個(gè)氣路內(nèi)部泄漏,主要是電磁調(diào)節(jié)閥關(guān)不死造成的;外漏是管路中氣體漏到氣路外部,主要是接頭密封不嚴(yán)造成的。

        問(wèn):4.設(shè)定點(diǎn)精度與滿量程精度的區(qū)別是什么?

        答:設(shè)定點(diǎn)精度是相對(duì)于設(shè)定點(diǎn)本點(diǎn)的精度,滿量程精度是相對(duì)于滿量程流量的精度。舉例:量程為 100SCCM 的流量控制器,當(dāng)設(shè)定 50SCCM 時(shí),其設(shè)定點(diǎn)精度為±0.5SCCM,即 50×(±1%)=±0.5SCCM;滿量程精度為 ±1SCCM,即100SCCM×(±1%)=±1SCCM。

        問(wèn):5.什么是產(chǎn)品響應(yīng)時(shí)間?

        答:當(dāng)流量設(shè)定點(diǎn)發(fā)生變化時(shí),流量控制器的流量穩(wěn)定達(dá)到流量設(shè)定點(diǎn)的一定范圍內(nèi)的最短時(shí)間。響應(yīng)時(shí)間又分為氣特性響應(yīng)時(shí)間和電特性響應(yīng)時(shí)間,氣特性響應(yīng)時(shí)間是指實(shí)際流量達(dá)到設(shè)定值所需的時(shí)間,電特性響應(yīng)時(shí)間是指流量控制器的輸出信號(hào)達(dá)到設(shè)定值所需時(shí)間,一般來(lái)說(shuō)氣特性響應(yīng)要快于電特性響應(yīng)。




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        1.半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制

        2.各種真空鍍膜設(shè)備

        3.特種材料表面處理

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        5.混和配氣系統(tǒng)

        6.泄漏探測(cè)系統(tǒng)

        7.環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備

        8.分析儀器的氣體流量計(jì)量與控制

        9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要?dú)怏w檢測(cè)和控制的場(chǎng)所


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